【技术参数】
分辨率：3.0 nm @ 30 kv (se 与w)、4.0 nm @ 30 kv (vp  with  bsd )
加速电压：0.2-30kv
放大倍数：5-1000000 x
探针电流：0.5pa-5μa
x-射线分析工作距离：8.5mm    35度接收角
低真空压力范围：10-400pa（选配10-750pa、ls10:环扫模式10-3000pa）
工作室：365mm (φ) x 275 mm (h)
5轴优中心自动样品台：x=125mm   y=125mm   z=50mm    t= -10°- 90°   r=360°(l连续)
试样高度：145mm   试样直径：250mm
系统控制：基于windows 7 的smartsem 操作系统
存储分辨率为32,000 x 24,000 pixels

 【产品应用】
    蔡司（zeiss） evo 18钨灯丝系列扫描电镜(sem)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。